PECVD-Ofen

1. Typ: 1200-Grad-Schieber-Zweizonen-PECVD-System
2.Phasennummer: Einphasig
3. Thermoelementtyp: K-Typ
4.Modell:TOB-DSP-1200 Grad -PECVD
5. Mindestbestellmenge: 1 Satz

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Produkteinführung

1200-Grad-Schiebertyp-Zweizonen-PECVD-System

Spezifikation

Modell	TOB-DSP-1200-Abschluss -PECVD-I	TOB-DSP-1200-Abschluss -PECVD-II		TOB-DSP-1200-Abschluss -PECVD-III	TOB-DSP-1200-Abschluss -PECVD-IV
Leistung	3KW	3KW		4KW	4KW
Ofenrohrgröße (mm)	Durchmesser 60 (Außendurchmesser) x 1800 mm	Durchmesser 80 (Außendurchmesser) x 1800 mm		Durchmesser 100 (Außendurchmesser) x 1800 mm	Durchmesser 120 (Außendurchmesser) x 1800 mm
Abmessungen	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Versorgungsspannung	220V
Phasennummer	Einzelphase
Steuermodus	Yudian-Temperaturregelung 30 Abschnitte können nur die PID-Temperaturregelung verwenden. FP93 Temperaturregelung (aus Japan) (Ersetzen Sie importierte Instrumente gegen eine zusätzliche Gebühr) 1,40 Abschnitt-Programm-Temperaturregelung kann in 4,2,1 Gruppenprogramm unterteilt werden, wenn das Programm in vier Gruppen unterteilt ist, jedes Programmsegment 10, 2,6 Gruppen-PID-Steuerung, niedrige, mittlere und hohe Temperatur können jeweils mit einem Satz PID ausgestattet werden, so dass jedes Segment in der Lage ist, die Temperatur sehr genau zu steuern.
Temperaturregelungsmodus	Intelligente PID
Ausbrennschutz und Anzeige	Ja
Übertemperaturschutz	Ja
Überstromschutz	Ja
Kontrollgenauigkeit	+/- 1 Grad
Auslösen	Phasenverschiebungsauslöser
SCR	106 / 16E Deutschland Simon Kang
Die maximale Temperatur der 1,2-Temperaturzone	1200 Grad
Die 1,2-Temperaturzone Nenntemperatur	1150 Grad
Erwärmungsrate	Weniger als oder gleich 30 Grad/Min. (Verfügbar auf Anfrage und Änderung)
Empfohlene Heizrate	Weniger als oder gleich 15 Grad / Min
Thermoelementtyp	K-Typ
Die Heizlänge der 1,2-Temperaturzone	205mm
Umgebungsoberflächentemperatur	Weniger als oder gleich 45 Grad
Plasma-HF-Leistung	Leistungsbereich		0-500W
	Maximale reflektierte Leistung		10W
	Signalfrequenz		13,56 MHz ± 0,005 %
	Lärm		<30 dB
	Luftkühlung		Kühlungsmethode
	Eingangsleistung		208-240V 50 / 60HZ
Hauptparameter des GX-Versorgungssystems	Standardsortiment		Protonendurchflussregler 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (Sie können einen beliebigen Maßstab wählen)
	Genauigkeit		± 1.5%
	Druckverlust		<0.01MPa
	Wiederholbarkeit		± 0.2% F.S
	Max Betriebsdruck		3MP
VS-0.1 Abgasanlage	Stromversorgung		220V / 380V 380W
	Pumprate		2L / S
	Widerstandsvakuummeter		ZDR-I
	Vakuummessbereich		0.1-10 5 Pa
	Vakuumpumpe		VRD-8
	Wellrohr		KF25X1000mm
	Vakuumsystem		10 -1Pa